1月28日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（下称“恒运昌”；688785.SH）登陆科创板首日便获市场追捧，盘中一度涨超320%，触及390元/股。以发行价92.18元/股计算，股民中一签（500股）最高可赚约14.89万元。

最终，恒运昌上市首日收盘报371.3元/股，上涨302.8%，全天换手率达76.12%，振幅达86.79%，总市值251亿元。

图源：恒运昌官网

招股书显示，恒运昌主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

2022年至2024年及2025年上半年，恒运昌主营业务收入分别约为1.58亿元、3.25亿元、5.41亿元和3.04亿元；其中等离子体射频电源系统收入占比分别为62.47%、66.53%、78.70%和76.54%。

图源：招股书

恒运昌在招股书中表示，公司的核心产品等离子体射频电源系统是半导体制程工艺中薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶及键合等工艺控制的关键，直接决定设备工艺能力、产品良率。等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难环节之一。

华金证券研报表示，恒运昌逐步发展为国产等离子体射频电源系统的龙头供应商，已实现量产交付拓荆科技（688072.SH）、中微公司（688012.SH）、北方华创（002371.SZ）、微导纳米（688147.SH）、盛美上海（688082.SH）等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际（688981.SH）、长江存储等国内晶圆厂，在国内半导体领域系首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统量产的国产厂商。

据招股书，恒运昌客户集中度较高。2022年至2024年及2025年上半年，恒运昌前五大客户产生的收入占主营业务收入的比例分别为73.54%、80.39%、90.62%及89.37%，其中，公司向第一大客户拓荆科技的销售收入占比分别为45.23%、58.16%、63.13%及62.06%。

恒运昌透露，公司自2018年开始与拓荆科技开展多款PECVD设备所需等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作，2020年获得批量订单，供货规模逐步起量，目前已稳定批量供应拓荆科技PECVD设备，是拓荆科技2024年度第一大等离子体射频电源系统供应商、前十大零部件供应商。

恒运昌还表示，拓荆科技是国产薄膜沉积设备龙头，公司与拓荆科技合作历史长、合作关系稳固。但如果未来公司无法持续拓展拓荆科技以外的新客户，或拓荆科技等主要客户的生产经营情况、经营战略、技术路线、价格等商业条款发生重大不利变化，或行业竞争格局发生重大变化，都将对公司经营业绩产生不利影响。

值得注意的是，拓荆科技不仅是恒运昌的第一大客户，还入股恒运昌。招股书显示，截至IPO上市前，拓荆科技拥有恒运昌156.6612万股股份，持股比例为3.0856%，是公司前十大股东之一。

图源：招股书

恒运昌还表示，计划通过此次IPO上市，进一步加大资金投入和研发投入，继续推动半导体设备核心零部件的国产化进程，助力提升我国半导体产业链供应链的韧性和安全水平。

招股书显示，恒运昌此次IPO拟募集资金14.69亿元用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目的建设，以及补充流动资金。

图源：招股书

但据最终版招股书，恒运昌本次发行价格为92.18元/股，发行数量约为1693.06万股，实际募集资金净额约为14.14亿元，未达到IPO拟募集资金金额。

对此，恒运昌称，若本次发行上市实际募集资金净额低于拟投入募集资金金额，公司将根据实际募集资金净额，按照项目的轻重缓急等情况，调整并最终决定募集资金的具体投资项目、优先顺序及各项目的具体投资额，募集资金不足部分由公司以自有资金或通过银行贷款等融资方式解决。

需要指出的是，拓荆科技还参加了恒运昌的战略配售，获配约44.4万股，占本次发行数量的2.62%。此外，中信证券资管恒运昌员工参与科创板战略配售集合资产管理计划获配股数最多，占本次发行数量的4.17%。

图源：招股书

1月28日，关于公司业务情况，时代财经向恒运昌信披邮箱发去采访提纲，截至发稿未获回复。