3月29日尾盘消息，半导体装备概念报跌，精测电子领跌，万业企业、芯源微、北方华创等跟跌。相关半导体装备上市公司有：

　　（1）、机器人： 2021年第三季度季报显示，机器人营业总收入同比增长27.58%至5.76亿元，毛利率12.21%，净利率-15.69%。

　　公司半导体装备业务中真空机械手及集束型设备下游客户为半导体工艺设备厂商。

　　近30日机器人股价下跌13.66%，最高价为10.59元，2022年股价下跌-24.15%。

　　（2）、雷赛智能： 2021年第三季度显示，公司总营收2.85亿元，同比增长9.7%， 净利率19.44%，毛利率39.98%。

　　公司为光伏装备、锂电装备和半导体装备行业提供运动控制核心部件及行业解决方案。

　　回顾近30个交易日，雷赛智能股价下跌22.38%，最高价为24.18元，当前市值为55.4亿元。

　　（3）、芯源微：公司2021年第四季度营收同比增长140.64%至2.81亿元， 毛利率35.16%，净利率8.62%。

　　公司作为国内领先的高端半导体装备制造企业，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制，下游客户覆盖国内主要LED芯片制造企业和集成电路制造后道先进封装企业。

　　回顾近30个交易日，芯源微股价上涨21.73%，最高价为185元，当前市值为126.92亿元。

　　（4）、万业企业：2021年第三季度，公司营收同比增长-58.09%至3736.25万元，毛利率47.45%，净利率58.91%。

　　集成电路业务专注离子注入机，出资4亿认购上海半导体装备材料产业投资基金，该基金先后投资飞凯材料、精测电子、长川科技、华卓精科和上海御渡等，并购紫光控股等集成电路装备材料核心项目。

　　回顾近30个交易日，万业企业股价下跌10.68%，最高价为27.03元，当前市值为196.38亿元。

　　本文选取数据仅作为参考，并不能全面、准确地反映任何一家企业的未来，并不构成投资建议，据此操作，风险自担。