3月22日周二午后数据显示，集成电路设备概念报跌，北方华创（-2.4%）领跌，长川科技、中微公司、至纯科技等跟跌。集成电路设备概念股有：

　　万业企业：总股本9.58万股，流通A股9.58万股，每股收益0.35元。

　　近5日股价上涨7.87%，2022年股价下跌-35.28%。

　　控股孙公司北京凯世通拟向重要客户出售多台12英寸集成电路设备（包含低能大束流离子注入机、低能大束流超低温离子注入机），总交易金额6.58亿元。

　　至纯科技：总股本3.19万股，流通A股2.6万股，每股收益1.01元。

　　近5个交易日股价上涨11.15%，最高价为40.02元，总市值上涨了13.89亿，当前市值为123.29亿元。

　　公司已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购，有效降低了生产成本。

　　中微公司：总股本6.15万股，流通A股2.45万股，每股收益0.92元。

　　近5日股价上涨4.76%，2022年股价上涨1.56%。

　　中微总部位于上海，聚焦亚洲，并为全球的客户提供技术和设备的解决方案。

　　长川科技：总股本3.14万股，流通A股1.87万股，每股收益0.27元。

　　回顾近5个交易日，长川科技有2天上涨。期间整体上涨3.33%，最高价为41.99元，最低价为38.42元，总成交量7176.61万手。

　　公司项目的主要建设内容为生产场地的建设和先进生产设备的引入，以扩大产品生产能力、提高技术水平，形成年产1，100台集成电路测试机及分选机的生产能力，以满足公司产品日益增长的市场需求。

　　北方华创：总股本4.97万股，流通A股4.59万股，每股收益1.09元。

　　近5日北方华创股价上涨5.28%，总市值上涨了87.02亿，当前市值为1606.91亿元。2022年股价下跌-0.67%。

　　2018年上半年，公司在推进高端集成电路设备的研发及产业化工作同时，积极与国内半导体芯片生产商加强合作，推动新产品的工艺验证，加强成熟半导体装备产品的市场销售力度。泛半导体领域，受光伏电池、半导体照明、新型显示领域的需求影响，订单较去年同期出现增长。上半年公司整个半导体装备主营业务收入79,485.07万元，比上年同期增长37.85%。

　　根据市场行情综合分析后发布此信息的目的在于传播更多信息，与本站立场无关。不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等。相关信息并未经过本网站证实，不对您构成任何投资建议，据此操作，风险自担。